XPS

Die Photoelektronenspektroskopie beruht auf dem Photoeffekt: Durch Anregung mit Photonen werden aus Atomen, Molekülen oder Festkörpern Elektronen herausgelöst, deren kinetische Energie bestimmt wird.

Je nach Anregungsquelle unterscheidet man zwischen XPS (X-Ray Photoelectron Spectroscopy, Anregung mit Röntgenstrahlung, Eprim > 100 eV) und UPS (Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy, Anregung mit UV-Strahlung, Eprim < 100 eV).