AES

Die Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES) misst die kinetischen Energien von Auger-Elektronen, die eine Substanz bei der Anregung mit Elektronenstrahlung emittiert. Die kinetische Energie des Auger-Elektrons ist dabei charakteristisch für einzelne chemische Elemente und lässt sich daher für die Elementanalyse verwenden.

Durch den Elektronenbeschuss wird ein Elektron aus einer inneren Schale herausgeschlagen und durch ein Elektron aus einem höheren Niveau aufgefüllt. Die dabei freiwerdende Energie wird entweder als Röntgenstrahlung emittiert oder strahlungslos auf ein weiteres (benachbartes) Elektron übertragen, das dann freigesetzt wird.